GB/T 12964-2003硅單晶拋光片

【 標準編號 】 GB/T 12964-2003
【 標準名稱 】 硅單晶拋光片  
【 英文名稱 】 Monocrystalline silicon polished wafers
【 發(fā)布單位 】 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
【 發(fā)布日期 】 2003-6-16
【 實施日期 】 2004-1-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 替代標準 】 GB/T 12964-1996
【 引用標準 】 GB/T 1550-1997; GB/T 1552-1995; GB/T 1554-1995; GB/T 1555-1997; GB/T 1558-1983; GB/T 2828-1987; GB/T 4058-1995; GB/T 6616-1995; GB/T 6618-1995; GB/T 6619-1995; GB/T 6620-1995; GB/T 6621-1995; GB/T 6624-1994; GB/T 11073-1989; GB/T 12962-1996; GB/T 13387-1992; GB/T 13388-1992; GB/T 14140.1-1993; GB/T 14140.2-1993; GB/T 14143-1993; GB/T 14264-1993; GB/T 14844-1993; YS/T 26-1992
【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院; 洛陽單晶硅有限責任公司
【 起 草 人 】 翟富義; 孫燕; 董慧燕; 盧立延; 曹孜; 孫文海