GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 17169-1997
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-12-22
【 實施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93
【 起草單位 】 南開大學(xué); 天津市半導(dǎo)體材料廠
【 起 草 人 】 李增發(fā); 王宏杰; 張福禎; 顏彩蘩; 張光寅; 鄧江東