平面平晶的使用方法

我們公司別的部門買了幾個平面平晶，說是要檢查平面度，請教我們怎么使用，我也是只知道些皮毛，好像是說干涉條紋越少越好，別的就一知半解了，請教有什么可以參考的資料嗎？

測量時﹐把平晶放在被測表面上﹐且與被測表面形成一個很小的楔角  ﹐以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面﹐且平晶與被測表面間的間隙很小﹐則由平晶測量面P 反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P 發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下﹐則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直﹐相互平行﹐且分布均勻﹐則表示被測表面的平面度很好﹔如干涉條紋彎曲﹐則表示平面度不好。其誤差值為 ﹐式中 為兩干涉條紋間距離﹐ 為干涉條紋的彎曲值﹐ 為光波波長﹐白光波長一般以0.6微米計算。

當干涉條紋平直、互相平行，且又均勻分布時，則說明其平面度好；當干涉條紋不規則、且無規律時，則說明其平面度不好。

平面平晶的干涉條紋平直則表示平面好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數乘以0.3則是它的平面度.如是弧形則表示是0.3以下.

最簡單的方法，在測量時讀出明暗條紋的條紋數（明或暗，一般讀出暗條紋的個數即可）乘以0.3，結果即是平面度。（單位為um)

原帖由 duomeiti 于 2008-6-12 21:53 發表
測量時﹐把平晶放在被測表面上﹐且與被測表面形成一個很小的楔角  ﹐以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面﹐且平晶與被測表面間的間隙很小﹐則由平晶測量面P 反射的光 ...

單色光源是指什么？？？？
平時的手電筒行不？

原帖由 nana 于 2008-6-13 09:31 發表
最簡單的方法，在測量時讀出明暗條紋的條紋數（明或暗，一般讀出暗條紋的個數即可）乘以0.3，結果即是平面度。（單位為um)

這個乘以0.3的結論是怎么得來的呀，謝謝！

白光波長一般以0.6um，（λ/2）=0.3um。

游標卡尺的測量面平面度用什么檢定？　平晶還是刀口尺？

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:57 編輯 ]

外量爪用刀口尺測量，內量爪用千分尺測量。

原帖由 rybmsi 于 2008-6-13 09:35 發表

單色光源是指什么？？？？
平時的手電筒行不？

單色光源一般情況下就是指日常工作光源，像白色熒光燈之類！

原帖由 zjauto 于 2008-6-17 21:26 發表
游伴卡尺的測量面平面度用什么檢定？　平晶還是刀口尺？

游標卡尺的測量面平面度用刀口尺檢。見：JJG 30-2002 通用卡尺檢定規程

你們公司平晶如果沒有等厚干涉儀需要三個相互檢定才行，

引用一本書上的內容:
1)根據干涉條紋計算平面度誤差
測量時若出現向一個方向彎曲的干涉條紋，如圖所示，調整平晶位置，使之出現3～5條干涉帶，則平面度誤差的近似值為：
f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距
但是如何精確確定ν和ω的值,我也很迷惑!
2）根據光圈計算平面度誤差
若被測平面凹或凸，則會出現環形干涉帶，調整平晶的位置，使干涉帶數為最少，則平面度誤差的近似值為：
f＝(λ/2) ×n
λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm；n為平晶直徑方向上的光圈數

示意圖如下


[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 編輯 ]

平晶具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。
光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都極小的玻璃平面，
它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。
平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，
圖1a為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。
平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，
例如千分尺兩測量面的平行度誤差（圖1b）。平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。
圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。
其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。
常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。

[localimg=310,300]1[/localimg]


[ 本帖最后由 herringhsu 于 2008-7-6 20:23 編輯 ]

最簡單的方法，在測量時讀出明暗條紋的條紋數（明或暗，一般讀出暗條紋的個數即可）乘以0.3，結果即是平面度。（單位為um)
nana 發表于 2008-6-13 09:31

搞幾何量計量的人不應出現這樣的錯誤：微米應寫作μm，而不應寫作um，希臘字母μ是詞頭，它表示對長度的主單位米（m）的負6此方，而英語u不是詞頭，表達的意思也完全不一樣，所以um是一個錯誤的單位，說明此事決不是吹毛求疵。

檢查千分尺的是一圈一圈的，圈數越少越好嗎？楔角是什么意思啊？

檢查千分尺的是一圈一圈的，圈數越少越好嗎？楔角是什么意思啊？
鐘智 發表于 2009-10-31 14:49

當然是圈數越少越好;楔角是指平晶與千分尺測砧之間所保持的角度(平晶并不是平壓在測砧上時)，就像14#回帖中左邊那幅圖一樣。

收獲很大啊。只是沒有看到圖阿？

繼續學習中

繼續學習中，有一點遺憾的是圖片打不開

挺好，學習了！

來學習，受教了