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[幾何量儀器] 接觸式干涉儀自由狀態下零次干涉帶的正確位置

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兌水 發表于 2009-2-12 11:38:29 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
謝春景
河北省廊坊市計量測試研究所

摘　　要:接觸式干涉儀被廣泛地用來檢定（3～4）等量塊,這種儀器的示值誤差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一種不被注意的情況下，儀器的示值誤差會達到0．3μm左右，這種情況在實際使用中又是可能出現的，因此有必要對此加以認識。 (共1頁)

接觸式干涉儀自由狀態下零次干涉帶的正確位置.pdf

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