GB/T 14145-1993 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 14145-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法  
【 英文名稱 】 Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-coutrast microscopy
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實(shí)施日期 】 1993-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F522-1984,REF