GB/T 6618-1995硅片厚度和總厚度變化測(cè)試方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 6618-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片厚度和總厚度變化測(cè)試方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 7P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 6618-1986
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 12964; GB 12965
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 533-1990,EQV
【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院