GB/T 15909-1995電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 15909-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)  
【 英文名稱 】 Gas for electronic industry—Silane
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-20
【 實(shí)施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數(shù) 】 7P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 190; GB/T 3051; GB/T 5274; GB/T 5832.1; GB 7144
【 采用關(guān)系 】 EQV SEMI-93
【 起草單位 】 化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院; 浙江大學(xué)材料系; 中科院半導(dǎo)體研究所
【 起 草 人 】 余京松; 佘中玉