GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 15861-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件  
【 英文名稱 】 Generic specification of ion beam etching system
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-22
【 實(shí)施日期 】 1996-8-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 9P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152
【 起草單位 】 電子工業(yè)部長(zhǎng)沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備研究所
【 起 草 人 】 安志超; 廖溫初