GB/T 14847-1993 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度紅外反射測法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 14847-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-12-24
【 實(shí)施日期 】 1994-9-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F95-1989,EQV