GB/T 18682-2002物理氣相沉積TiN薄膜技術條件

【 標準編號 】 GB/T 18682-2002
【 標準名稱 】 物理氣相沉積TiN薄膜技術條件  
【 英文名稱 】 Specifications of physical vapour deposition TiN films
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局
【 發(fā)布日期 】 2002-3-10
【 實施日期 】 2002-8-1
【 開本頁數(shù) 】 23P
【 引用標準 】 GB 191; GB/T 3620.1; B/T 3620.2; GB/T 4698; GB/T 5168; GB/T 5193; GB/T 6070; GB/T 8180; GB/T 11164-1999; GB/T 13384; GB/T 15827; JB/T 6075; JB/T 7506; JB/T 7673; JB/T 7705; JB/T 8554; JB/T 53021
【 起草單位 】 武漢材料保護研究所; 鋼鐵研究總院; 中科院力學研究所; 中國航科集團公司五一一研究所; 成都工具研究所; 中科院蘭州化學物理研究所; 蘭州真空設備有限責任公司; 長沙科航新型表面技術研究所
【 起 草 人 】 凌國偉; 李健; 倪瀚; 黃濟群; 曲學基; 紀曉春; 秦襄培