請問手持式的四點探針如何校驗

四點探針，專門量測＂面電阻＂的儀器。
請問如何做內校？

用電阻箱模擬面電阻值校準即可。

間距那么小，怎么模擬？需要專門訂做的標準電阻測量吧

通過引線把電阻接到探針上即可，怎么接就要自己想辦法了；至于引線的電阻是否需要修正就要看看測量的阻值大小以及測量的精度要求有多高了。

可依據檢定依據：JJG508-2004四探針電阻率測試儀檢定規程

謝謝各位的回復～

還有個問題～

有人告訴我，如果使用標準電阻進行四點探針的校準，那是針對儀器讀值是否正確的校準；若使用產品來當標準片進行校準，會比較恰當。
請問以上說法正確嗎？

由于我公司的原材屬于 ITO FILM,所以，建立了一個ITO的標準片進行量測。但是。由于ITO的量測在10次以上后，阻值變的不穩，導致量測校驗的結果令人懷疑！

JJG 508-2004 已下，研究中！謝謝您提供的訊息！感謝！

那是因為標準片經過多次測試后被探針扎了很多細孔，改變了標準片的面電阻率，所以說其實用標準片來做標準其重復性是很差的。

用標準電阻來校準四點探針測試儀，首先要知道該儀器測量電阻和顯示電阻率之間的倍率關系，不然的話沒有標準就無法知道校準結果是否滿意了。

我以前遇到過一種這樣的情況，四點探針電阻計拿出去校驗，報告上給了 Ω  單位，但是 面電阻是 Ω/口，我當時打電話問了計量局 ，他們也不知道。我現在還想知道。說是有個換算的關系的。那個報告都不知道怎么驗收了。

不能用電阻箱校準.只能用標準片校準.
就算知道倍率關系,但倍率關系和探針的間距等有關系,容易造成偏差.

規程要求用標準電阻率樣片來校驗，但是目前樣片好像比較緊缺，不知哪兒有？