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SJ 3236-89電子級氣體中痕量氧的測定方法黃磷發光法

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woshi_tjy 發表于 2008-8-2 19:37:49 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ 3236-89
【 標準名稱 】 電子級氣體中痕量氧的測定方法黃磷發光法  
【 批準單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 發布日期 】 1989-3-20
【 實施日期 】 1989-3-25
【 開本頁數 】 4P
【 起草單位 】 無錫微電子聯合公司; 中國科學院半導體研究所
【 起 草 人 】 彭永清; 朱國華; 趙長春; 尹恩華

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