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SJ/T 10152-91集成電路主要工藝設備術語

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woshi_tjy 發表于 2008-8-2 13:12:49 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/T 10152-91
【 標準名稱 】 集成電路主要工藝設備術語  
【 英文名稱 】 Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies
【 發布單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 發布日期 】 1991-4-2
【 實施日期 】 1991-7-1
【 開本頁數 】 67P
【 起草單位 】 機械電子工業部第45研究所
【 起 草 人 】 劉恩榮; 方偉林; 安志超; 濮川; 童志義

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