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SJ/T 10274-91掩模對準曝光機測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-31 20:21:14 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/T 10274-91
【 標準名稱 】 掩模對準曝光機測試方法  
【 英文名稱 】 Test methods of mask alignment and exposure system
【 發布單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 發布日期 】 1991-11-12
【 實施日期 】 1992-1-1
【 開本頁數 】 10P
【 引用標準 】 GB 11481; GB 7237; GB 4857.9; GB 5398
【 起草單位 】 國營南光機器廠
【 起 草 人 】 唐志宇; 武又文

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