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SJ/T 31100-94離子束蝕刻機(jī)完好要求和檢查評定方法

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woshi_tjy 發(fā)表于 2008-7-24 16:46:28 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 31100-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 離子束蝕刻機(jī)完好要求和檢查評定方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第48所
【 起 草 人 】 安志超

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