[轉載]光學顯微鏡的校驗標準器？

（因為急著作報告，發現里面的帖子沒人看，所以轉出來了，望版主手下留情。）

公司有幾臺光學顯微鏡，
主要用于測量IC的偏移量，
由于拿出去外校費用比較昂貴，
所以考慮內校，
請問校驗的標準器應該如何選擇？

用玻璃尺？光波干涉測長機（Laser Interferometer）？目鏡測微器(Objective Micrometer)？
對于這幾個工具，我也是比較困惑。。。
校驗的方式應該怎樣進行呢？
感謝!~

附：
光學顯微鏡為GENTEN解析大尺寸顯微鏡，型號見網址：http://www.genten.tw/pro04.htm#pro0404
以前作外校主要針對X向示值誤差和Y向示值誤差，分別作0--1000mm的20個測量和0--970mm的20個測量
然后給出擴展不確定度U和k.

或許我的帖子冒犯了各檢驗局測量人員，無端端外校變內校，我也是被boss壓迫的打工仔呀，請原諒。