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YS/T 15-91硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法

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woshi_tjy 發表于 2008-6-14 10:57:04 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 YS/T 15-91
【 標準名稱 】 硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法  
【 發布單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1991-4-26
【 實施日期 】 1992-6-1
【 開本頁數 】 5P
【 引用標準 】 GB 1550
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所
【 起 草 人 】 張玉芬; 夏錦祿

硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法.pdf

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