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YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗方法

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woshi_tjy 發表于 2008-6-14 10:49:12 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 YS/T 26-1992
【 標準名稱 】 硅片邊緣輪廓檢驗方法  
【 發布單位 】 CSIC-YS
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數 】 3P
【 采用關系 】 ASTM F 928-85,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠

硅片邊緣輪廓檢驗方法.pdf

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