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[激光] 請問下大神們，激光干涉儀用什么校準

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1#
請問下大神們，激光干涉儀用什么校準的。我目前是用平面平晶校準的，只有面型圖案，沒有數值，那沒有數值的校準，該怎么做內部校準記錄呀
微信圖片_20241025162219.

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2#
7895123 發表于 2024-10-25 21:03:00 | 只看該作者
激光干涉比長儀
3#
wleii 發表于 2024-10-26 14:09:42 | 只看該作者
是不是等厚干涉儀？用激光做光源的，JJF 1100-2016 平面等厚干涉儀校準規范
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