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[活度] 能譜儀

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實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可領(lǐng)域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 能譜儀
英文名稱:
型號(hào)規(guī)格:
測(cè)量范圍:
等級(jí):
分辨率:
技術(shù)指標(biāo): -
生產(chǎn)廠家: -
描述: X射線能譜儀(簡(jiǎn)稱能譜儀,EDS)是一種常見的用于分析試樣化學(xué)組成以及對(duì)該組成進(jìn)行定量分析的儀器,一般與掃描電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱掃描電鏡,SEM)或者電子探針(簡(jiǎn)稱 EPMA)組合使用,其中SEM/EDS組合最廣泛。其工作原理如下:SEM或者 EPMA 發(fā)射具有一定能量的聚焦電子?xùn)|轟擊試樣表面,會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)被激發(fā)元素的特征X射線。這些射線被X射線探測(cè)器檢測(cè),經(jīng)過信號(hào)轉(zhuǎn)換、放大等一系列處理和分析后,可以得到試樣中所含各元素的特征X射線強(qiáng)度值。通過與相應(yīng)元素標(biāo)準(zhǔn)樣品的X射線能譜的對(duì)比測(cè)定和修正計(jì)算處理,可以獲得被測(cè)試樣化學(xué)組成的定量分析結(jié)果,能譜儀的結(jié)構(gòu)示意圖見圖1。
能譜儀的窗口類型可分為 Be 窗口、超薄窗口和無(wú)窗,制冷模式可分為液氮制冷和電制冷,探測(cè)器類型可分為 Si-li探測(cè)器和硅漂移探測(cè)器(SDD)。
相關(guān)文檔:  
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn): JJF 2067 X射線能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范

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