高分辨透射電子顯微鏡的校準(zhǔn)方法

王芳1施玉書(shū)1周瑩2
1. 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院2. 上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院
摘要：透射電子顯微鏡作為納米尺度的重要分析工具，其長(zhǎng)度量值的準(zhǔn)確性將直接影響樣品的測(cè)量結(jié)果。本研究采用單晶硅晶格標(biāo)準(zhǔn)器，對(duì)高分辨透射電子顯微鏡的長(zhǎng)度測(cè)量誤差與長(zhǎng)度測(cè)量重復(fù)性進(jìn)行了校準(zhǔn)，并對(duì)長(zhǎng)度測(cè)量誤差的不確定度進(jìn)行評(píng)定。為說(shuō)明校準(zhǔn)方法的適用性，研究中對(duì)三臺(tái)不同型號(hào)的高分辨透射電子顯微鏡進(jìn)行了校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)，結(jié)果顯示該校準(zhǔn)方法具有廣泛的代表性，可實(shí)現(xiàn)透射電子顯微鏡的精確評(píng)價(jià)，測(cè)量量值可溯源至硅晶格常數(shù)，為納米技術(shù)領(lǐng)域的精準(zhǔn)測(cè)量提供技術(shù)保障。