原子力顯微鏡的雙探針接觸測量研究

張華坤1,2,高思田2,李偉2
1.合肥工業大學儀器科學與光電工程學院
2.中國計量科學研究院

摘要 為實現雙探針原子力顯微鏡的探針對準,用探針A對探針B的成像進行了深入的研究。首先對音叉探針進行有限元仿真,分析探針的機械特性。其次用鎖相放大器獲取探針的幅度和頻率信號,讓探針接近樣品（硅片）以獲得系統的分辨率。最后在YOZ平面用探針A對探針B掃描成像,逐步縮小掃描范圍并同時減小掃描步進。實驗表明,探針的分辨率優于1 nm,雙探針對準精度可達5 nm。