微納米三坐標(biāo)測量機(jī)的高精度恒溫箱研制

作者：馮建1,李瑞君1,何亞雄1,范光照1,2
1.合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,安徽 合肥 230009;
2. 臺灣大學(xué)機(jī)械工程學(xué)系,  臺北  10617
摘要：針對恒溫室控制精度低和分離式恒溫箱因振動而無法滿足微納米三坐標(biāo)測量機(jī)需要的問題,研制了一套自然對流式高精度恒溫箱。用定制尺寸的中空亞克力板和輕便型超低導(dǎo)熱系數(shù)真空絕熱板制成絕熱箱體。以儀器測量點(diǎn)溫度作為溫度控制反饋值,均勻位于恒溫箱頂部的9個半導(dǎo)體制冷片對其周圍空氣進(jìn)行制冷,箱內(nèi)冷空氣均勻向下流動,與向上流動的熱空氣進(jìn)行熱交換。采用LabVIEW與MATLAB混合編寫高精度溫控程序。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:設(shè)定值為20 ℃時的穩(wěn)態(tài)誤差為0.003 2 ℃,穩(wěn)態(tài)時溫度波動小于0.03 ℃,優(yōu)于一級恒溫室。新型恒溫箱具有成本低、能耗小和無振動干擾等優(yōu)點(diǎn)。