VMA3020影像測量儀的Z軸怎么計(jì)量

公司有一臺(tái)影像測量儀VMA3020，它的Z軸怎么進(jìn)行計(jì)量。

VMA3020影像儀如果配置Z軸探針，就可以像三坐標(biāo)一樣用量塊進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)規(guī)范也說的很清楚。

如果是驗(yàn)證光學(xué)部分的z軸可以將量塊研在平晶上測量，如果是帶接觸式探針可以參照坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范使用量塊、步距規(guī)等

X軸和Y軸怎么校準(zhǔn)，是用玻璃線紋尺，用客戶測尺寸的方法測量尺寸嗎？

中秋之緣 發(fā)表于 2018-11-1 11:12
X軸和Y軸怎么校準(zhǔn)，是用玻璃線紋尺，用客戶測尺寸的方法測量尺寸嗎？

用玻璃線紋尺，用客戶測尺寸的方法

我看規(guī)程中用臺(tái)階規(guī)校準(zhǔn)吧

一般都是用量塊研合后進(jìn)行測量的，一般的校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)都沒有配備臺(tái)階規(guī)，臺(tái)階規(guī)我只看到設(shè)備廠家用過。

Z軸一般用米子量塊做基準(zhǔn)，先把米子量塊研合在玻璃載物臺(tái)上，然后用設(shè)備自動(dòng)對(duì)焦功（自動(dòng)機(jī)）能對(duì)準(zhǔn)米子量塊，做位Z軸0，然后依次在米子量塊底下研合量塊，Z軸全程均勻至少測量5點(diǎn)就可以。如沒有米子量塊，我們找個(gè)薄的量塊上面帶刻字的，當(dāng)做米子量塊用（效果不一定好）。在Z軸上加指示表什么，那種方法，是間接法檢查。