請各位幫忙推薦一下非接觸測量的三座標

       因為老儀器壞了，需要報計劃采購一臺新設備，主要用于測量薄壁件等容易變形的工件直徑。要求是能夠非接觸測量圓柱孔內定高截面的內徑或圓柱定高截面的外徑。精度最好在1微米左右（1+L/... 微米）一般測量范圍在250毫米就可以了，通常測量150以下的工件。
       我找到的儀器資料大部分是測量表面的，不能測到孔內部，而且精度也不夠。

影像式三次元我推薦NIKON的NEXIV系列
好像型號是VMR-3020這樣子的，具體參數可以google一下

超高精度版VMR-H3030（X，Y，Z／300x300x150mm）精度：Uxy＝0.6＋2L／1000um　Uz＝0.9＋L／150um 精度倒是可以，不過好像這臺儀器是ccd成像的只能測量工件表面或者不太厚的工件。對于比較厚的圓柱孔內部定高截面孔徑恐怕無法成像。
謝謝了。

MICROVU品牌較穩定, 具體型號可問供應商