《壓阻真空計校準規范》征求意見稿

一、        任務來源
經全國壓力計量技術委員會向國家質量監督檢驗檢疫總局申報，由中國計量科學研究院、江蘇省計量科學研究院、成都國光電氣股份有限公司制定本校準規范。國家質檢總局已于2013年4月通過審定并批準立項，以“國質檢量［2013］101號”文正式下達制訂任務。
二、        校準規范制定的必要性
目前與壓阻真空計有關的現行有效的兩個技術文件是JJG 932-1998《壓阻真空計檢定規程》和JB/T 10553-2006《真空計 擴散硅壓阻真空計》。JJG 932-1988規程于1998年制定，距今已有14年時間。同時考慮到實際工作的需要，需要對該規程進行修訂。新修訂要求制定新的校準規范，而不是修訂原規程進而制定新規程。
JJG-932中規定壓阻真空計需要在（102～105）Pa范圍內進行檢定，但是要求在（103～105）Pa范圍內，其相對示值誤差不超過20%，即為合格。該做法不甚合理，因判定依據的測量點不是全部測量點，如此情況下，非判定點即不需要測量。另外，行業標準中要求儀器的各點精度為滿量程的0.5%，而規程中要求的精度為測量點的20%，二者不匹配，不利于實際工作的進行。
壓阻真空計，一般只作為工作用計量器具，且不屬于強制檢定的范圍。在使用中，也不需要對其進行評級。用戶可以根據需要來選擇使用。因此，本項目希望在JJG-932的基礎上，編寫相應的校準規范，以滿足壓阻真空計在使用中的需求。
三、        制定規范的簡要過程
3.1 調研情況
3.1.1 生產情況
目前國內主要有成都國光電氣股份有限公司，成都正華電子儀器有限公司，北京北儀創新真空技術有限責任公司等，年產量在100臺件以上。國外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司、Hastings公司等，在中國的年銷售量在200臺件以上。
3.1.2 使用情況
壓阻真空規一般應用在航空、電子、造紙等行業。
3.2 主要內容說明
3.2.1 測量范圍
本校準規范規定的測量范圍是100Pa~100kPa，測量范圍的下限的確定主要從兩方面考慮：一是滿足不確定度要求，二是滿足使用要求。各個廠家生產的壓阻真空規測量下限通常在100Pa左右，取更低的測量范圍，意義不大。
3.2.3 標準裝置
在本校準規范中，測量標準裝置推薦采用比較法真空標準裝置，沒有推薦采用其他的標準裝置。主要因為比較法校準裝置的指標比較適合于壓阻真空規的校準。另外靜態膨脹系統目前國內使用者少，而且有向比較法真空標準裝置改造傾向。
3.2.4 標準裝置的不確定度要求
標準裝置的不確定度建議為Ur=(1.0%~0.15%) (k=2)，主要是考慮到目前的裝置基本能夠達到要求，且滿足壓阻真空計的校準條件。
3.2.5 安裝
為避免校準時的安裝位置與使用時安裝位置不同而產生系統差，校準過程中，盡量按照客戶要求進行。如無特殊要求，建議在證書中給出具體安裝位置。

中國計量科學研究院

壓阻真空計校準規范

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