激?光?干?涉?儀?使?用?技?巧

1引言

高性能激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，作者所在單位使用的是英國RENISHAW公司生產(chǎn)的ML10激光干涉儀，具有性能穩(wěn)定，使用方便等特點(diǎn)。

通過較長時(shí)間使用，作者認(rèn)為測量人員除了要考慮環(huán)境、溫度、原理等影響測量的常規(guī)因素外，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測量互作事半功倍。

作者：魏純
單位：廣州市計(jì)量檢測技術(shù)研究院,廣東,廣州,510030
摘要：本文討論了激光干涉儀在使用中的準(zhǔn)直等技巧，用戶在實(shí)際使用中增加配件以及維護(hù)中遇到的問題。