高精度雙測頭量塊比較儀的研究

摘要：研制了一種新型高精度量塊比較儀,該比較儀采用上、下雙電感測頭進行測量.給出了比較儀的總體結構,系統采用數字濾波算法對電感測微儀的隨機誤差進行處理,在±20μm測量量程內,對比較儀進行了精確標定,編制了測量控制軟件.并對該量塊比較儀進行了重復性和示值誤差測試.實驗結果表明其示值誤差δ≤±(0.02+0.002L)μm.
作者：         張旭東     劉香斌     吳月艷

作者單位：         中國計量科學研究院,北京,100013

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劍客 發表于 2013-7-8 09:57
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我覺得接觸式干涉儀比較方便

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fobyellow 發表于 2023-12-11 13:27
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