“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”啟動(dòng)

“十二五”國家科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目
“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”啟動(dòng)

　　3月6日，“十二五”國家科技支撐計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”啟動(dòng)會(huì)在中國計(jì)量科學(xué)研究院召開。科技部條財(cái)司副司長吳學(xué)梯，項(xiàng)目領(lǐng)導(dǎo)小組組長、中國計(jì)量科學(xué)研究院副院長宋淑英，由金國藩、葉聲華、張鐘華3位院士領(lǐng)銜的項(xiàng)目咨詢專家組，國家質(zhì)檢總局科技司、計(jì)量司相關(guān)人員，項(xiàng)目領(lǐng)導(dǎo)小組、項(xiàng)目管理辦公室及各課題負(fù)責(zé)單位相關(guān)人員等近百人參加了本次啟動(dòng)會(huì)。

　　

                                   圖1：科技部條財(cái)司副司長吳學(xué)梯在啟動(dòng)會(huì)上講話
　　科技部條財(cái)司副司長吳學(xué)梯在啟動(dòng)會(huì)上指出，微納技術(shù)是科技發(fā)展的前沿領(lǐng)域之一，我國在此領(lǐng)域已取得一定的發(fā)展，但是在產(chǎn)業(yè)化方面與國外發(fā)達(dá)國家仍有一定的差距。希望通過該項(xiàng)目的啟動(dòng)實(shí)施，為我國微納技術(shù)產(chǎn)業(yè)化提供計(jì)量技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)等技術(shù)支撐。他說，該項(xiàng)目屬于前沿研究，具有很大的挑戰(zhàn)性，希望中國計(jì)量院結(jié)合自身特點(diǎn)并聯(lián)合國內(nèi)相關(guān)優(yōu)勢單位，在這一領(lǐng)域取得好的成績，為我國微納技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展做出更大貢獻(xiàn)。

　　

                                   圖2：項(xiàng)目領(lǐng)導(dǎo)小組組長、中國計(jì)量院副院長宋淑英講話
　　項(xiàng)目領(lǐng)導(dǎo)小組組長、中國計(jì)量科學(xué)研究院副院長宋淑英在發(fā)言中指出，近年來，得益于國家的大力支持，中國計(jì)量院取得了可喜的科技成果并得到社會(huì)各界的認(rèn)可。該項(xiàng)目是計(jì)量院“十二五”期間啟動(dòng)的第二個(gè)科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目，計(jì)量院將繼續(xù)做好支持和服務(wù)工作，按照國家有關(guān)規(guī)定和項(xiàng)目管理的要求，與各課題參與單位互相配合，共同協(xié)作，作出服務(wù)于微納技術(shù)發(fā)展的新成果。

                                   圖3：啟動(dòng)會(huì)現(xiàn)場

                                   圖4：啟動(dòng)會(huì)現(xiàn)場
　　啟動(dòng)會(huì)上，在前期研讀的基礎(chǔ)上，項(xiàng)目咨詢專家組的13位咨詢專家對(duì)《“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”項(xiàng)目管理辦法（征求意見稿）》進(jìn)行了熱烈的討論并提出修改意見。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中國計(jì)量院納米新材料所副所長高思田從項(xiàng)目的意義及必要性出發(fā)，匯報(bào)了項(xiàng)目的總體目標(biāo)及預(yù)期成果、考核指標(biāo)、課題分解及任務(wù)設(shè)置、管理機(jī)制等相關(guān)情況。各課題組負(fù)責(zé)人分別詳細(xì)匯報(bào)了課題的主要研究內(nèi)容、考核指標(biāo)、實(shí)施方案、經(jīng)費(fèi)安排等。

                                   圖5：項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中國計(jì)量院納米新材料所副所長高思田匯報(bào)項(xiàng)目情況
　　微納技術(shù)包括微納米材料、結(jié)構(gòu)、器件、系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造及測量技術(shù)，涵蓋了微電子、MEMS/NEMS、納米技術(shù)等高新技術(shù)領(lǐng)域，在我國戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中具有重要作用。近年來，微納技術(shù)的發(fā)展對(duì)計(jì)量學(xué)提出了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，高準(zhǔn)確度的微納結(jié)構(gòu)特性計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)以及微納器件和部件是保證微納技術(shù)領(lǐng)域快速可持續(xù)發(fā)展的重要技術(shù)支撐。當(dāng)前，我國微納技術(shù)研究成果已與先進(jìn)國家相當(dāng)，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程顯著加快，不少產(chǎn)品的產(chǎn)量位居世界前列。但高端產(chǎn)品短缺數(shù)量少、品質(zhì)差，缺乏市場競爭力，高水平的基礎(chǔ)研究成果難以產(chǎn)業(yè)化。究其原因，主要就是微納計(jì)量技術(shù)的研究嚴(yán)重滯后、計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)嚴(yán)重匱乏，核心技術(shù)嚴(yán)重落后，難以支撐我國微納技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展。
　　項(xiàng)目組在前期調(diào)研分析基礎(chǔ)上制訂了微納結(jié)構(gòu)特性量值溯源體系發(fā)展路線圖。據(jù)此，該項(xiàng)目將在微納幾何結(jié)構(gòu)計(jì)量技術(shù)研究、微納結(jié)構(gòu)化學(xué)特性計(jì)量技術(shù)研究、微納力學(xué)特性計(jì)量技術(shù)研究和微納計(jì)量儀器的核心器件及部件的研制4個(gè)方向開展研究。計(jì)劃建立基標(biāo)準(zhǔn)裝置6套、研制標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)7類19-26種、研制計(jì)量用微納核心器件3類和關(guān)鍵部件1套、建立測量系統(tǒng)4套與測量方法4項(xiàng)，初步建立較為完整的微納技術(shù)計(jì)量傳遞體系，項(xiàng)目成果水平將達(dá)到或超過美國等發(fā)達(dá)國家現(xiàn)有水平。
　　“微納技術(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究”項(xiàng)目的組織實(shí)施單位為國家質(zhì)檢總局，中國計(jì)量科學(xué)研究院為項(xiàng)目承擔(dān)單位，并負(fù)責(zé)其中6個(gè)課題，清華大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、沈陽建筑大學(xué)等22家高校、科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)參與本項(xiàng)目的研究。項(xiàng)目周期4年，包括：紫外光學(xué)二維微納幾何結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)裝置及標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研究；計(jì)量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)測量裝置的建立；微納幾何尺度光學(xué)衍射/散射測量技術(shù)研究；碳基納米材料結(jié)構(gòu)參數(shù)與特性量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的建立；材料表面分析及納米粉體材料計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的建立；微克質(zhì)量及微納力值標(biāo)準(zhǔn)的建立與溯源中的關(guān)鍵技術(shù)研究；微納結(jié)構(gòu)機(jī)械力學(xué)性能測量技術(shù)的研究；用于計(jì)量的微納集成器件關(guān)鍵技術(shù)研究；納米位移定位控制技術(shù)和系統(tǒng)的研發(fā)等9個(gè)課題。
　　隨后，與會(huì)專家分別進(jìn)行點(diǎn)評(píng)并提出項(xiàng)目實(shí)施意見建議。
　　宋淑英副院長在總結(jié)發(fā)言中對(duì)與會(huì)專家的意見建議表示感謝，她表示，在項(xiàng)目實(shí)施過程中將充分吸收專家組的意見要求，按照項(xiàng)目、課題的任務(wù)目標(biāo)開展工作，嚴(yán)格管理，加強(qiáng)合作聯(lián)系，充分發(fā)揮各單位的優(yōu)勢，積極推動(dòng)總項(xiàng)目的實(shí)施。（劉旭紅）