“微納技術計量標準和標準物質研究”啟動

“十二五”國家科技支撐計劃項目
“微納技術計量標準和標準物質研究”啟動

　　3月6日，“十二五”國家科技支撐計劃重點項目“微納技術計量標準和標準物質研究”啟動會在中國計量科學研究院召開。科技部條財司副司長吳學梯，項目領導小組組長、中國計量科學研究院副院長宋淑英，由金國藩、葉聲華、張鐘華3位院士領銜的項目咨詢專家組，國家質檢總局科技司、計量司相關人員，項目領導小組、項目管理辦公室及各課題負責單位相關人員等近百人參加了本次啟動會。

　　

                                   圖1：科技部條財司副司長吳學梯在啟動會上講話
　　科技部條財司副司長吳學梯在啟動會上指出，微納技術是科技發展的前沿領域之一，我國在此領域已取得一定的發展，但是在產業化方面與國外發達國家仍有一定的差距。希望通過該項目的啟動實施，為我國微納技術產業化提供計量技術標準、標準物質等技術支撐。他說，該項目屬于前沿研究，具有很大的挑戰性，希望中國計量院結合自身特點并聯合國內相關優勢單位，在這一領域取得好的成績，為我國微納技術及其產業化的發展做出更大貢獻。

　　

                                   圖2：項目領導小組組長、中國計量院副院長宋淑英講話
　　項目領導小組組長、中國計量科學研究院副院長宋淑英在發言中指出，近年來，得益于國家的大力支持，中國計量院取得了可喜的科技成果并得到社會各界的認可。該項目是計量院“十二五”期間啟動的第二個科技支撐計劃項目，計量院將繼續做好支持和服務工作，按照國家有關規定和項目管理的要求，與各課題參與單位互相配合，共同協作，作出服務于微納技術發展的新成果。

                                   圖3：啟動會現場

                                   圖4：啟動會現場
　　啟動會上，在前期研讀的基礎上，項目咨詢專家組的13位咨詢專家對《“微納技術計量標準和標準物質研究”項目管理辦法（征求意見稿）》進行了熱烈的討論并提出修改意見。項目負責人、中國計量院納米新材料所副所長高思田從項目的意義及必要性出發，匯報了項目的總體目標及預期成果、考核指標、課題分解及任務設置、管理機制等相關情況。各課題組負責人分別詳細匯報了課題的主要研究內容、考核指標、實施方案、經費安排等。

                                   圖5：項目負責人、中國計量院納米新材料所副所長高思田匯報項目情況
　　微納技術包括微納米材料、結構、器件、系統的設計制造及測量技術，涵蓋了微電子、MEMS/NEMS、納米技術等高新技術領域，在我國戰略性新興產業發展過程中具有重要作用。近年來，微納技術的發展對計量學提出了嚴峻的挑戰，高準確度的微納結構特性計量基標準、標準物質以及微納器件和部件是保證微納技術領域快速可持續發展的重要技術支撐。當前，我國微納技術研究成果已與先進國家相當，產業化進程顯著加快，不少產品的產量位居世界前列。但高端產品短缺數量少、品質差，缺乏市場競爭力，高水平的基礎研究成果難以產業化。究其原因，主要就是微納計量技術的研究嚴重滯后、計量基標準和標準物質嚴重匱乏，核心技術嚴重落后，難以支撐我國微納技術產業化的發展。
　　項目組在前期調研分析基礎上制訂了微納結構特性量值溯源體系發展路線圖。據此，該項目將在微納幾何結構計量技術研究、微納結構化學特性計量技術研究、微納力學特性計量技術研究和微納計量儀器的核心器件及部件的研制4個方向開展研究。計劃建立基標準裝置6套、研制標準物質7類19-26種、研制計量用微納核心器件3類和關鍵部件1套、建立測量系統4套與測量方法4項，初步建立較為完整的微納技術計量傳遞體系，項目成果水平將達到或超過美國等發達國家現有水平。
　　“微納技術計量標準和標準物質研究”項目的組織實施單位為國家質檢總局，中國計量科學研究院為項目承擔單位，并負責其中6個課題，清華大學、合肥工業大學、沈陽建筑大學等22家高校、科研機構和企業參與本項目的研究。項目周期4年，包括：紫外光學二維微納幾何結構標準裝置及標準物質的研究；計量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標準測量裝置的建立；微納幾何尺度光學衍射/散射測量技術研究；碳基納米材料結構參數與特性量計量標準的建立；材料表面分析及納米粉體材料計量標準的建立；微克質量及微納力值標準的建立與溯源中的關鍵技術研究；微納結構機械力學性能測量技術的研究；用于計量的微納集成器件關鍵技術研究；納米位移定位控制技術和系統的研發等9個課題。
　　隨后，與會專家分別進行點評并提出項目實施意見建議。
　　宋淑英副院長在總結發言中對與會專家的意見建議表示感謝，她表示，在項目實施過程中將充分吸收專家組的意見要求，按照項目、課題的任務目標開展工作，嚴格管理，加強合作聯系，充分發揮各單位的優勢，積極推動總項目的實施。（劉旭紅）