如何使用平面平晶檢測平面度

我們有一零件直徑323.0，平面度要求2μm.我們有直徑350mm平面平晶和鈉光燈箱。有誰檢過？謝謝了！

看干涉條紋

350的平面平晶，真漂亮！
我們只有小的，方法應該差不多的吧？

檢測時，將被測平面緊貼于平晶。兩個表面都必須仔細擦凈，使兩表面之間可以形成一層極薄的空氣膜。打開鈉光燈，光束從光源發出，按一定角度投射入平晶。單色光源透平空氣膜，就會產生明暗相間的干涉條紋。如果使用白光(自然光)作為光源，則顯示出幾種顏色的干涉條紋。一個光干涉帶等于光波的半個波長，可用干涉條紋判別試件的平面度偏差。

來看看！！！！！！！

回復 4# nmzzcd


    您好，看到你的回復，有一點不明白，在自然光的條件下，得多少干涉帶算合格呢？有沒有標準要求什么的，請說明一下。謝謝

建議你看一平晶檢定規程

不管是鈉光還是自然光，半個波長取0.3μm

等厚干涉的話如果條紋都是直的而且間隔均勻，則說明平面度是好的。

將平晶置于工件上貼好后，看干涉帶，數干涉帶的有幾圈，只要不超過7圈就合格。

怎么大的直徑，清潔工作很關鍵。建議用小平晶千分尺熟練上手。

回復 6# 旖旎


    在5條~6條左右比較合理，這樣可以得到更好的估計值。

回復 10# yj407


測平面度怎么是看干涉帶圈數呢？不是看干涉帶彎曲度和干涉帶間隔么。

哈哈！！規程有干涉條紋計算公式的哦！！！！