計量使工藝得以實現(xiàn)

計量使工藝得以實現(xiàn)
發(fā)布時間:2007-11-23

      計量并不廉價——計量專家的費用和計量工具的成本就不低——但如果是以生產(chǎn)和成品率為目標的話，那么它絕對算得上價廉物美。
　　多年以來，許多業(yè)內人士都認為計量是一項非增值的花費，但是隨著在器件制造流程中計量重要性的不斷提高，它正在快速地成為幫助獲取巨額收入的關鍵因素之一。在一篇研究內容廣泛全面的研討會論文中，對這種重心轉移背后的原因進行了明確的描述，對于那些在各類檢查、測量和測試應用中生產(chǎn)或使用計量的從業(yè)者來說，這篇論文應該被視為最重要的參考資料之一。
　　通過對“增值”計量的討論，論文的第一作者、國際半導體技術制造協(xié)會（ISMI）的Benjamin Bunday，與來自ISMI和Sematech、Freescale、Advanced Micro Devices、Intel、Spansion、Texas Instruments和IBM的合作者們一起，解釋了為什么將計量看成是一項非增值花費的傳統(tǒng)“思維”，已經(jīng)成為一種誤導性的危險論斷。正如Bunday所說：“在當前最新工藝出現(xiàn)中的各種重要的技術趨勢，比如光學鄰近修正（OPC）、可制造性設計（DFM）和先進工藝控制（APC）等，實際上都基于在 誤差和精度方面，可以對計量進行精細的調整這個前提假設。”
　　Bunday和合著者們解釋了為什么在特征尺寸計量和套刻精度、薄膜與缺陷計量領域內處處都可以找到這樣的例證。以APC為例，他們展示了這個全新的概念是如何使計量在最終產(chǎn)品質量中扮演主要角色的：“過去，計量監(jiān)測工藝流程的結果，而且主要用途是出現(xiàn)異常偏差后進行返工和‘在事后’對工藝進行調整。APC將它推到一個新的水平，通過‘過程中修正’來不斷地將工藝向目標引導。”這篇論文分析了典型的柵層APC循環(huán)，其中計量數(shù)據(jù)被反饋以用于調整光刻設置，同時又被前饋來調整基于光刻結果的柵刻蝕；對快速熱退火注入步驟進行精細的調整，以進一步修正柵刻蝕步驟中可能出現(xiàn)的任何異常偏差。