GB/T 14015-92硅—藍(lán)寶石外延片

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 14015-92
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅—藍(lán)寶石外延片 
【 英文名稱 】 Silicon on sapphire epitaxial wafers
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1992-12-28
【 實(shí)施日期 】 1993-8-1
【 開本頁(yè)數(shù) 】 8P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 6624; GB 2828; GB/T 13843; SJ 2446
【 采用關(guān)系 】 SEMI M3-1983,REF
【 起草單位 】 天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
【 起 草 人 】 陳顗; 孫家龍; 牛志強(qiáng); 步云英