校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法
5.1 外觀及各部分相互作用檢查:
以觀察和試驗(yàn)的方法檢定
5.2 玻璃工作臺(tái)與縱橫向滑板的移動(dòng)方法的平行度
將測(cè)微表固定在顯微鏡的主顯微鏡的立柱上,測(cè)微表頭與工作臺(tái)面相接觸,移動(dòng)玻璃工作臺(tái),觀看測(cè)微表的示值變化,其變化值不大于JJG56-2000規(guī)程中3.2要求。
5.3 縱橫向滑板移動(dòng)的直線度
將測(cè)微表固定在顯微鏡的主顯微鏡的立柱上,平尺安裝在儀器的工作臺(tái)上,并將平尺調(diào)整至與滑板移動(dòng)方向平行,使測(cè)微表頭與平尺工作面接觸,移動(dòng)滑板全行程,觀看測(cè)微表的示值變化,其變化值大于JJG56-2000規(guī)程中3.3要求。
5.4 縱橫向滑板移動(dòng)的垂直度
將200 mm×100mm寬度直角尺安裝在儀器的工作臺(tái)上,測(cè)微表借助表架,調(diào)整直角尺使其工作面與縱橫滑板移動(dòng)方向平等,測(cè)微表頭與其接觸,移動(dòng)滑板,觀察測(cè)微表示值變化情況,其變化值不大于JJG56-2000規(guī)程中3.4要求。
5.5 立柱位于零位時(shí),光軸對(duì)工作臺(tái)面的垂直度
將尺寸為(2-3)mm的量塊研合在尺寸為(20-50)mm的量塊上,如下圖所示。然后把研合量塊平放在儀器的工作臺(tái)上,調(diào)節(jié)可變光束至最小孔徑,開(kāi)主顯微鏡臂架,直至在主顯微鏡中見(jiàn)到量塊清析影像為止。這時(shí)觀察量塊兩工作面的
影像是否同樣清晰,再將塊調(diào)轉(zhuǎn)180°觀察量塊工作面的影像是否也同樣清晰,以上方法在縱橫向兩個(gè)方位上進(jìn)行。
5.6測(cè)角顯微鏡處于零位時(shí),測(cè)角目鏡的十字線與滑板移動(dòng)方向的平行度
校準(zhǔn)時(shí),將刀口直角尺或?qū)S貌AЬ€紋尺的直角線紋的長(zhǎng)端平行與縱向滑板的移動(dòng)方向,轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)角目鏡的十字分劃線,使其水平線與直角尺或直角線紋的長(zhǎng)邊影像平行,觀察測(cè)角止鏡的示值是否為零,若不是零,則讀出其偏差,應(yīng)不大于JJG56-2000規(guī)程中3.9的要求。
5.7 測(cè)角顯微鏡的示值誤差
在5.6的基礎(chǔ)上依次轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)角顯微鏡的度盤(pán),移動(dòng)滑板,使十字線的水平線與滑板移動(dòng)的方向平行,并按測(cè)角顯微鏡讀出受檢點(diǎn)的示值誤差,其誤差,應(yīng)有大于JJG56-2000規(guī)程中3.10要求。
5.8儀器示值誤差
同JJG56-2000規(guī)程中5.3.14要求
6 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
作好原始記錄,依據(jù) OP/26 S SZCD012-2006工具顯微鏡原始記錄表格處理。 |