基于雙頻激光干涉的坐標(biāo)測量機測量不確定度檢定系統(tǒng)

作者：  祝連慶, 北京機械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 陳青山, 北京機械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 董明利, 北京機械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 張舒, 北京機械工業(yè)學(xué)院,北京,100085   
   會議名稱：  中國儀器儀表學(xué)會第八屆青年學(xué)術(shù)會議   
   會議時間：  20060728   
   會議地點：  大連   
  主辦單位：  中國儀器儀表學(xué)會  
         摘要：  本文分析了現(xiàn)有坐標(biāo)測量機精度檢定的方法,設(shè)計了基于雙頻激光干涉儀為測量基準(zhǔn)的三坐標(biāo)測量機測量不確定度檢定系統(tǒng),給出了檢定過程中測量數(shù)據(jù)的處理方法和測量不確定度的表達式.該系統(tǒng)利用高精度的直線靜導(dǎo)軌和動導(dǎo)軌的組合可快速方便地實現(xiàn)三坐標(biāo)測量機單軸和測量空間內(nèi)測量不確定度的檢定.