光柵線位移測量裝置 (征求意見稿)

光柵線位移測量裝置 (征求意見稿)
光柵線位移測量裝置（系統）以刻線間距進行長度量值傳遞，其系統成基本原理如圖1，主要由長度標準值的產生、探測、信號處理三部分組成，以光柵尺刻線間距（柵距）作為長度量值的標準源值，通過“測頭”與“光柵尺”的相對位移掃描獲得與光柵線刻劃周期一致（或為倍數關系）的周期電信號，信號處理系統對周期電信號進行鑒相、倍頻、細分后進行位移計算、誤差修正補償，最終輸出位移結果。
光柵線位移測量裝置（系統）具有多種類型劃分方法，按結構可分為敞開式和封閉式，按型式分為帶參考零位和不帶參考零位，按照光柵柵線位置的探測原理可分為基于幾何影像莫爾條紋原理和基于衍射后進行干涉測量的衍射光柵。