表面粗糙度國際比對自動測量系統關鍵技術研究

卜祥鵬1張樹1,2皮磊1施玉書1
1. 中國計量科學研究院2. 深圳中國計量科學研究院技術創新研究院
摘要：基于中國計量科學研究院的表面粗糙度基準計量裝置，開展了視覺定位系統、自動操作系統和多自由度位移系統的研究，從而實現依據國際比對協議規定流程的自動化測量。實驗驗證表明：該系統可有效實現表面粗糙度的自動化測量，滿足國際比對的要求。在對國際比對規定的表面粗糙度標準器的測量實驗中，該系統的自動定位測量的重復性為4.2 nm,相比于手動定位測量提高了2.6倍，有效地減少了測量過程中引入的人為誤差。