微納坐標測量機間接校準方法的探究

施玉書1,2,高思田2,宋小平2,郭鑫3,陳思文1,皮磊2,李偉2,李琪2,李適2,王興旺2
1.天津大學 精密測試技術及儀器國家重點實驗室, 天津 300072
2.中國計量科學研究院, 北京 100029
3.中國計量大學 計量測試工程學院, 浙江 杭州 310018
摘要 針對微納坐標測量機的高精度性能指標無法精確校準的問題,提出了一種間接校準的方案。使用量塊及標準球板校準微納坐標測量機的尺寸測量示值誤差,用標準球校準儀器的探測誤差。并對中國計量科學研究院的微納坐標測量機進行了校準實驗,實驗結果表明,該儀器的尺寸測量示值誤小于0.2 μm,探測誤差僅為0.125 μm,校準結果均優于儀器的最大允許誤差,驗證了校準方案的合理可行性。