《電離真空計校準規范》征求意見稿

3.1 調研情況
3.1.1 生產情況
目前國內主要有成都國光電氣股份有限公司，成都正華電子儀器有限公司等年產量在100臺件以上。國外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司等，在中國的年銷售量在200臺件以上。
3.1.2 使用情況
電離真空規一般應用在航空、電子等行業。
3.2 主要內容說明
本校準規范將代替JJF 1062-1999《電離真空計》及JJG462-2004《二等標準電離真空計》
3.2.1 測量范圍
本校準規范規定的測量范圍是1×10-9 Pa~100Pa，測量范圍的下限的確定主要從兩方面考慮：一是滿足實際需要，二是滿足使用要求。1×10-9 Pa的測量下限幾乎涵蓋所有行業的測量需求，目前各個國家的計量院及國內的各個計量技術機構，建立的校準裝置的測量下限也都能夠覆蓋。測力那個上限定在100Pa是目前確實有部分電離真空計能夠測量到這個壓力，為了包含這些電離真空計，因此將測量上限定在了100Pa。
3.2.3 標準裝置
在本校準規范中，測量標準裝置推薦采用比較法真空標準裝置及動態流導法真空標準裝置。主要因為這兩種校準裝置的操作相對方便且能夠滿足計量需求。靜態膨脹系統不適宜電離真空計的校準，因此沒有推薦使用。
3.2.4 標準裝置的不確定度要求
標準裝置的不確定度建議為Ur=(20%~5%) (k=2)，主要是考慮到目前的裝置基本能夠達到要求，且滿足電離真空計的校準條件。
3.2.5 安裝
為避免校準時的安裝位置與使用時安裝位置不同而產生系統差，校準過程中，盡量按照客戶要求進行。如無特殊要求，建議在證書中給出具體安裝位置。

學習下這方面的知識

JJF 1062-2022《電離真空計校準規范》