1MΩ-100GΩ高值電阻器高精度的校準(zhǔn)方法

作　　者：王一幫[1] 鄭世棋[1] 梁法國[1] 喬玉娥[1] 劉霞美
機(jī)構(gòu)地區(qū)：[1]中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所,河北石家莊050051
摘　　要：高阻計(jì)、數(shù)字源表等儀器在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用. 但目前市場上1MΩ-100GΩ高值電阻器準(zhǔn)確度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）無法滿足高阻計(jì)、數(shù)字源表等儀器電阻參數(shù)的溯源需求. 本文提出了一種高精度的高值電阻器的校準(zhǔn)方法,該方法由兩個(gè)多功能校準(zhǔn)源和指零儀組成的比較電橋?qū)崿F(xiàn). 根據(jù)校準(zhǔn)方法組建了1MΩ-100GΩ測量系統(tǒng),測量結(jié)果的不確定度為3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可滿足市場上絕大部分高阻測量儀器的校準(zhǔn)需求.

下載來學(xué)學(xué)

說提出有點(diǎn)不合適吧，雙源電橋原理好早就有了。。。