工業(yè)CT 長(zhǎng)度測(cè)量誤差校準(zhǔn)的探索研究

摘要: 針對(duì)工業(yè)CT 在尺寸測(cè)量領(lǐng)域難以溯源的問(wèn)題，對(duì)工業(yè)CT長(zhǎng)度測(cè)量誤差的校準(zhǔn)方法進(jìn)行f 探索研究。工業(yè)CT的長(zhǎng)度測(cè)量誤差分為球心距誤差和端而距誤差兩類。對(duì)于球心距誤差，研制出種小森林球標(biāo)準(zhǔn)器，并使用微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)其進(jìn)行了校準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)器用于型號(hào)為Mctrotom 1500 的工業(yè)CT 的校準(zhǔn)時(shí)， 球心距誤差小于土2 um，且小于儀器的最大允許誤差。對(duì)于端面距誤差，分別選用常見(jiàn)的金屬量塊和陶瓷量塊作為尺寸實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器進(jìn)行了探索實(shí)驗(yàn)， 測(cè)得端面距誤差超出了儀器的最大允許誤差。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用球心距和端面距校準(zhǔn)得到的工業(yè)CT 的測(cè)量誤差差異很大，并且對(duì)于同一長(zhǎng)度，端面距誤差遠(yuǎn)大于球心距誤類。

作者：宋旭；施玉書(shū)；宋小平；李東升；陳思文；李適；高思田
單位：中國(guó)計(jì)量學(xué)院；中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院；天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室