蔡司三坐標(biāo)檢定咨詢

我們廠的蔡司三坐標(biāo)最近剛叫蔡司售后的人來(lái)做了維護(hù)保養(yǎng)。我們機(jī)子的精度是1.5+L/300，在進(jìn)行MPE-E驗(yàn)收的時(shí)候，y軸的測(cè)量我有些困惑，根據(jù)蔡司的規(guī)定，y軸用100-500的量塊在右邊靠近光柵尺的地方和左邊遠(yuǎn)離光柵尺的地方分別測(cè)量10次，取平均值。但是測(cè)量的結(jié)果是遠(yuǎn)離光柵尺的地方測(cè)得值比較好，雖然兩個(gè)地方測(cè)量的值都在精度范圍內(nèi)，但是我認(rèn)為遠(yuǎn)離光柵尺的地方測(cè)量值應(yīng)該偏差比較大啊！不知道出現(xiàn)這種數(shù)值是為什么，蔡司的人認(rèn)為是正確的，而且他的檢定程序是全球通用的肯定沒(méi)有錯(cuò)的。 左邊數(shù)據(jù)是靠近光柵尺，右邊數(shù)據(jù)是遠(yuǎn)離光柵尺。

現(xiàn)在論壇里未免也太冷清了吧！

主要是寫的東西看不明白，你想說(shuō)什么
單從2份數(shù)據(jù)上看，這臺(tái)儀器挺好的

哈哈 ，一般 通常的原理就是說(shuō)，遠(yuǎn)離那個(gè)光柵尺的那邊因?yàn)榫嚯x變形等原因，會(huì)跟光柵尺的數(shù)據(jù)不一致程度會(huì)大些，其實(shí)現(xiàn)在是檢定的，已經(jīng)補(bǔ)償過(guò)了，可能軟件就是按遠(yuǎn)離的數(shù)據(jù)補(bǔ)償?shù)模员容^好。

這個(gè)主要看他在哪標(biāo)定了，在遠(yuǎn)離的標(biāo)，遠(yuǎn)離的數(shù)據(jù)就好，在近的標(biāo)就近的好
總之都要在誤差內(nèi)就可以了

精度是1.5+L/300的設(shè)備，兩個(gè)位置的數(shù)據(jù)最多僅差0.4微米，這么小的差異是且僅用一個(gè)100MM的量塊測(cè)量的數(shù)據(jù)是說(shuō)明不了什么問(wèn)題的。樓主還應(yīng)該再看其它量塊特別是500MM量塊在兩個(gè)位置差異，并再進(jìn)行綜合比較。