支撐光學制造的幾何量計量技術

幾何量計量技術大量應用于光學制造業(yè)以檢測零件質(zhì)量和控制生產(chǎn)過程,是光學制造業(yè)的核心技術,涉及微納米結構的幾何量計量以及平面、球面、非球面、直紋曲面及自由曲面的面形計量.本文綜述了德國聯(lián)邦物理技術研究院支撐光學制造的部分計量技術.介紹了一種測量范圍為25 mm×25 mm×5 mm的計量型大范圍原子力顯微鏡(AFM),可靈活多樣地測量各種微納結構.介紹了一種新穎的AFM探針(ACP),可實現(xiàn)微納結構側壁形貌的直接、無損測量.介紹了一種應用Flared AFM探針的真三維AFM及其用于減少針尖磨損的矢量探測技術,可應用于各種納米結構的真三維測量.介紹了可用于平面和中等曲面面形絕對測量的兩種方法:差分型激光束偏轉法和可溯源多路傳感器法(TMS).討論了面形測量中存在的挑戰(zhàn)性難題.介紹了可用于面形測量的高精度三坐標測量機.
作 者： 戴高良 SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald DAI Gao-liang SCHULZ Michael EHRET Gerd DANZEBRINK Hans-Ulrich FLUEGGE Jens BOSSE Harald   
作者單位： 德國聯(lián)邦物理技術研究院 ,布倫瑞克38116