超級千分表的發(fā)展

作者：鄒自強 李明媛 鄒光宇

摘要：討論了超級千分表的工作原理和優(yōu)點，描述了超級千分表關鍵參數(shù)及其檢測方法。其中，由于百萬分表(納米表，納米測長儀)的技術難度最大，所以文中側重討論它的檢測。大量的實測數(shù)據(jù)表明：百萬分表的測量重復性(標準偏差)在0.6～1.2nm范圍內(nèi)；在未作任何誤差修正的條件下，示值誤差＝±（30～60）nm；以光波波長作為基準進行誤差修正后，示值誤差可達±（10～20）nm，細分誤差≤±5um。

有誰用過超級千分表?超級千分表的測力是多大?

我沒見過是怎么回事

大膽的設想，頂