cxp 發(fā)表于 2021-2-2 09:18
不均勻值，是在同一面上，1MM范圍內(nèi)的示值變化，這個(gè)例子上說(shuō)1MM范圍內(nèi)不超過(guò)0.5微米，其實(shí)還是給大了，給0 ...

均勻分布也叫矩形分布。置信因子根號(hào)6那是三角分布。

不均勻值，是在同一面上，1MM范圍內(nèi)的示值變化，這個(gè)例子上說(shuō)1MM范圍內(nèi)不超過(guò)0.5微米，其實(shí)還是給大了，給0.2微米差不多，0.02MM
屬于精研片，1毫米內(nèi)差0.5微米，有點(diǎn)扯了，另外矩形分布的包含因子我咋記得是根號(hào)6，像這種3MM片，這種小范圍市值變化你說(shuō)它是屬于均勻分布，但是在邊緣部位不均勻度應(yīng)該不止2微米，所以這樣感覺(jué)有問(wèn)題，我自己覺(jué)得0.02mm-0.10mm屬于均勻分布，大于0.1到3毫米是矩形分布，貌似才合理，而樓主問(wèn)的，應(yīng)該自己去測(cè)