平行度可以用立式光學計測量，粗糙度可以用粗糙度測量儀測量，平面度采用平晶以技術光波干涉法或者以光隙法測量。

　　被測件是一個圓形金屬薄片，直徑大小43mm，厚度僅1.5mm，要求表面粗糙度0.5μm，平面度3μm，上下表面的平行度5μm。簡單有效的測量方法是：
　　測量中自重引起的變形和測量力引起的變形是必須防范的。可以添置一個φ60的平面平晶，將被測件貼附在平晶工作面上防止變形引入的測量誤差。
　　表面粗糙度的檢測是非常簡單的，只需要一臺表面粗糙度測量儀就可以了。
　　平面度的檢測也很簡單，使用另一個平面平晶觀察干涉帶形狀、干涉帶環數和條紋彎曲度即可，或者最簡單的方法是用刀形直尺通過光隙法觀看不同方向上的光隙大小也是可以的。
　　上下表面的平行度可將貼附著被測件的平面平晶置于平板上，表架上安裝分度值1μm，或分辨力0.1μm的指示表（顯示儀）。先調整平晶使其四周在指示表上的讀數相等，然后用指示表在被測件表面上采點，各點在指示表上讀數的最大值與最小值之差即為被測件上表面對與平晶貼附表面的平行度誤差。然后將被測件翻面，同樣測得一個平行度誤差。取兩個平行度誤差的最大值作為被測件上下表面的平行度誤差測量結果。

三維形貌測量儀可以測量

可以設計專用的檢具，測是沒有問題的
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三坐標可以檢測平行和平面度但是粗糙度不能檢測
bruceiee 發表于 2013-1-13 09:59

精度到微米了，三座標的精度是達不到的

三坐標可以檢測平行和平面度但是粗糙度不能檢測

可以看一下檢驗卡具設計這本書，上面寫的很多東西可能對你們有幫助，在資料下載區就有這本書，可以找一下！