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計量論壇
標題:
GB/T 14144-1993 硅晶體中間隙氧含量經向變化測量方法
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作者:
jinyibu
時間:
2009-1-16 12:14
標題:
GB/T 14144-1993 硅晶體中間隙氧含量經向變化測量方法
【 標準編號 】 GB/T 14144-1993
【 標準名稱 】 硅晶體中間隙氧含量經向變化測量方法
【 英文名稱 】 Test method for dermination of radia interstitial oxygen variatin in silicon
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 5P
【 采用關系 】 ASTM F951-1987,EQV
bz001011214.pdf
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