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計(jì)量論壇
標(biāo)題:
GB/T 6520-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法
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作者:
woshi_tjy
時(shí)間:
2008-12-31 12:27
標(biāo)題:
GB/T 6520-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 6520-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片翹曲度非接觸式測試方法
【 英文名稱 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 6620 -1986
bz001015803.pdf
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