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標(biāo)題: GB/T 6620-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時(shí)間: 2008-12-31 12:23
標(biāo)題: GB/T 6620-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 6620-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片翹曲度非接觸式測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 6620-86
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 657-1991,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠
【 起 草 人 】 王從贊; 郭瑾; 袁景怡

BZ002023283.pdf

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