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標(biāo)題:
GB/T 13388-1992硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測量方法
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作者:
lxm4
時間:
2008-12-28 11:20
標(biāo)題:
GB/T 13388-1992硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測量方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 13388-1992
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測量方法
【 英文名稱 】 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1992-2-19
【 實施日期 】 1992-10-1
【英文關(guān)鍵詞】 X射線; 性能測量
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 4P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F547-1933,EQV
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